1、在半导体工艺中,石英制品被广泛应用,尤其是在扩散、氧化、退火处理等步骤中,石英炉管、石英晶舟等部件在高温环境中发挥着至关重要的作用。石英晶舟用于承载并传输多个硅片进行批次制造,而石英炉管则是晶片加热的核心组件。
2、半导体炉管设备是半导体工艺中的关键设备,主要用于扩散、掺杂、氧化、沉积和退火等制程。以下是关于半导体炉管设备的详细介绍: 设备形式: 水平式炉管:晶片被放置在石英晶舟上,由SiC制的承载架支撑。承载架推动石英炉管,使晶片在恒温区进行反应。
3、制程重要性:对于确保半导体芯片性能的稳定性和可靠性至关重要。特别是在制造高精度模拟电路或数字电路中,微小的性能差异可能导致芯片无法正常工作。通过Trimming制程,可以对这些微小差异进行补偿,使芯片在实际应用中达到最佳性能。
4、氮气 作用:氮气以其惰性和可用性,主要用于清洁和保护工具和设备免受污染,吹扫通道去除杂质。 特点:氮气在半导体制造过程中是一种非常常见的气体。 氧气 作用:氧气在氧化硅层生长和蚀刻过程中发挥重要作用。 特点:需要保持超高纯度,以确保半导体制造过程的质量和稳定性。